PVDF粉末在半导体行业中的应用主要体现在以下几个方面:
一、高纯度化学品输送系统
管道与阀门
PVDF粉末可通过挤出或注塑成型制成管道、阀门和储罐,用于输送超纯水、高纯度酸碱及有机溶剂,其化学惰性可避免污染介质。
典型应用:半导体湿法工艺中的快排阀,确保无气体残留和快速排放1。
密封部件
PVDF制成的密封圈和垫片能耐受强腐蚀性化学品(如氢氟酸除外),长期稳定性优异。
二、半导体制造设备
反应腔体衬里
PVDF涂层或衬里用于保护金属设备免受蚀刻气体(如Cl₂、HBr)腐蚀,延长使用寿命。
晶圆处理工具
PVDF制成的晶圆承载器、夹具等部件,具有低释气性和高洁净度,避免晶圆污染。
三、功能组件
压电传感器
PVDF粉末加工成的薄膜可用于晶圆加工过程中的振动监测和精密控制。
超滤膜
PVDF超滤膜用于半导体废水处理,纳米级颗粒和离子杂质。
四、工艺适配性
PVDF粉末可通过挤出(200-230℃)或注塑成型加工,需严格控制温度以避免分解。